打入5nm产线！这家国产半导体设备商科创板过会，拟募资30亿元芯东西（公众号：aichip001）作

芯东西（公众号：aichip001）
作者|高歌
编辑|Panken
芯东西8月30日报道，今天下午，北京屹唐半导体科技股份有限公司（以下简称“屹唐股份”）通过科创板上市委会议。
屹唐股份的主营业务为干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备，其产品可应用于逻辑芯片、闪存芯片及DRAM芯片生产。上会稿显示，屹唐股份的干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备最高可应用于5nm逻辑芯片、128层3D闪存芯片及1y到2xnm系列DRAM芯片的量产。
热处理、刻蚀和去胶是集成电路生产过程中的三个重要步骤。
快速热处理可以增加光刻胶和基片间的黏附能力，防止显影时光刻胶图形的脱落以及湿法腐蚀时产生侧面腐蚀（sideetching）。干法刻蚀主要是指以气体为主要媒介的刻蚀技术，可以让晶圆在干燥的状态下进出系统，进行刻蚀加工。而在刻蚀之后，晶圆已不需要光刻胶作为保护层，因此可以将光刻胶从硅片表面去除，干法去胶利用等离子体将光刻胶去除，其效果较湿法去胶工艺更好。

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▲集成电路制造工艺流程中的主要设备类型（来源：屹唐股份招股书上会稿）
屹唐股份总部位于中国，研发、制造基地分布于中国、美国、德国三地。 2016年屹唐股份收购美国半导体设备厂商MattsonTechnologyInc.（MTI），并将其作为境外经营主要主体， MTI也是屹唐股份合并报表范围内的主要业绩贡献主体。
根据市场研究公司Gartner统计， 2020年屹唐股份干法去胶设备、快速热处理设备的市场占有率分别位居全球第一、第二。
截至上会稿，北京屹唐盛龙半导体产业投资中心（有限合伙）持有屹唐股份总股本的45.05% ，为屹唐股份直接控股股东。亦庄产投和亦庄国投则是间接控股股东，均为国资背景。屹唐股份的实际控制人则为财政审计局。

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▲屹唐股份股权结构图（来源：屹唐股份招股书上会稿）
本次IPO ，屹唐股份计划发行股份不超过46941万股，拟募集资金30亿元，将分别用于“屹唐半导体集成电路装备研发制造服务中心”、“屹唐半导体高端集成电路装备研发”以及“发展和科技储备资金”3个项目。

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▲屹唐股份募资情况（来源：屹唐股份招股书上会稿）
一、中国境内收入比重上升至42% ， 10-28nm产品收入大幅上升
根据上会稿，屹唐股份2018年-2020年复合增长率为23.41% ， 2020年度营业收入较2019年同比增长46.96% 。该公司2018年、2019年、2020年营收分别为15.18亿元、15.73亿元和23.13亿元。
净利润方面，屹唐股份2019年变化幅度较大，其2018年-2020年净利润分别为2395.83万元、-8813.98万元和2476.16万元。
2019年屹唐股份净利润为负，呈亏损态势。上会稿写道，该年度屹唐股份的中国区业务团队为了满足国内客户需求而快速扩张，使其各项先行投入开支较大，因此产生了亏损。

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▲屹唐股份2018年-2020年营收及净利润变化
上会稿强调，在报告期内，屹唐股份来源于中国境内的收入分别为3.21亿元、4.94亿元和9.74亿元，复合增长率达74.27% ，境内收入占总营收比重由21.12%上升至42.12% 。
如果以产品类型划分，屹唐股份营收可分为专用设备销售、备品备件、服务和特许权使用费4种。其中，专用设备销售包括干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备3种设备的销售收入。 2020年专用设备销售金额达16.93亿元，占总营收比例为73.23% ，是屹唐股份的主要收入来源。