真空度传感器的工作原理是什么

【真空度传感器的工作原理是什么】真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片(上电极)、上层密封用的玻璃组成,其中下电极溅射在玻璃衬底上,电极上生长一绝缘层;硅膜是利用硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐蚀技术形成的 。那么真空度传感器的工作原理是什么呢?

真空度传感器的工作原理是什么

文章插图
1、真空传感器的工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号 。
2、真空传感器是工业实践中常用的一种压力传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、通风管道等众多行业 。
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