asml什么意思?


asml什么意思?

文章插图
asml的意思是:
1、荷兰ASML公司 (全称: Advanced Semiconductor Material Lithography , 目前该全称已经不作为公司标识使用 , 公司的注册标识为ASML Holding N.V) , 中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾) 。
【asml什么意思?】2、光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机 , 曝光系统 , 光刻系统等 。常用的光刻机是掩膜对准光刻 , 所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序 。
光刻机工作原理
在加工芯片的过程中 , 光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段 , 将光束透射过画着线路图的掩模 , 经物镜补偿各种光学误差 , 将线路图成比例缩小后映射到硅片上 , 然后使用化学方法显影 , 得到刻在硅片上的电路图 。
asml是荷兰的 。这是一家总部设在荷兰埃因霍温的全球最大的半导体设备制造商之一 , 向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备 。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市 。
ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务 , TWINSCAN系列是世界上精度最高 , 生产效率最高 , 应用最为广泛的高端光刻机型 。全球绝大多数半导体生产厂商 , 都向ASML采购TWINSCAN机型 , 比如英特尔(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、台积电(TSMC)、中芯国际(SMIC)等 。
ASML的产品简介 。
ASML的产品线分为PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列 , 其中PAS系列现已停产;AT系列属于老型号 , 多数已经停产 。市场上的主力机种是XT系列以及NXT系列 , 为ArF和KrF激光光源 , XT系列是成熟的机型 , 分为干式和沉浸式两种 , 而NXT系列则是主推的高端机型 , 全部为沉浸式 。
ASML下一代半导体设备—High-NA EUV 设备是将集光能力的镜头数值孔径(NA)从0.33提高到0.55的设备 。比现有的EUV设备处理更精细的半导体电路 。