芯片|中微半导体助力,国产芯片设备达5nm水准,成功出货三星

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从每年芯片的进口量可以看出 , 多年来在进口商品中一直排第一位 。 为此 , 我们必须提高国内的芯片制造能力 , 提升国内的芯片产能 , 这自然需要更多的芯片制造设备 。
芯片制造设备之前主要依赖进口 , 但近年来这个情况开始改变 , 国产芯片设备的水平不断提升 , 国内越来越多的晶圆厂开始选择 。 近日 , 又一重要的芯片设备实现突破 。

芯片设备国产逐步推进
从今年上半年的大陆晶圆厂设备招标情况来看 , 芯片制造设备的国产化率有了非常明显的提高 。 其中 , 北方华创、中微半导体、芯源微、上海精测等大陆厂商占比较大 。
国产设备主要侧重于干法去胶、刻蚀、清洗、抛光、涂胶显影设备和离子注入机等 。
设备招标较突出的是上海积塔半导体 , 因为扩产今年招标超150台设备 。 近期招标的33台设备 , 除了ASML中标3台光刻机外 , 其他设备全部由大陆制造厂商中标 。

其中 , 10台为北方华创中标 , 11台为拓荆科技中标 。 近期招标中 , 有4台工艺检测设备为上海微电子中标 。 从数据统计来看 , 积塔半导体的设备招标国产率是最高的 。
虽然这些设备并不是很高端的设备 , 但至少我们都能做了 , 只要应用于产线 , 设备水平自然会逐步提高 。 当然 , 国产芯片制造设备中 , 也有不少已经达到了领先的水平 。
比如中微半导体的刻蚀机 , 已经达到5nm水平 , 并且已经应用于台积电芯片产线 。

中微半导体在芯片设备领域还是非常厉害的 , 它是由尹志尧博士带领团队回国创立的 , 之前的刻蚀设备也是限制进口的 , 中微半导体突破以后 , 国外就放开了出口限制 。
据了解 , 中微半导体已经做出了3nm刻蚀机 , 在这个领域已经处于全球领先水平 。
中微半导体在刻蚀设备领域取得了突出成果后 , 还通过投资积极布局其他设备领域 。 早些时间 , 就投资了薄膜设备领域的拓荆科技 , 就是上边中标了11台的拓荆科技 。

国产检测设备正在突围
在薄膜设备领域投资取得效果后 , 中微半导体并没有止步 , 后来又投资了工艺检测设备领域的上海睿励 , 也取得了不错的成绩 。 对于这两种设备 , 大家可能都不太了解 。
芯片制造需要很多种设备 , 主要有光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗、扩散、抛光、工艺检测等八大设备 。 当然 , 这只是说的八大类 , 每类下面还有多种小分类 。
据近几年数据统计显示 , 光刻、刻蚀、薄膜、工艺检测为前四种占比较大的设备 。

由此可见 , 中微半导体的布局有多厉害吧 , 刻蚀设备自己做到了全球领先 , 又布局了薄膜、工艺检测两个设备领域 。 尤其是最近投资的工艺检测设备 , 重要性不断提高 。
近年来 , 因为芯片制造工艺一直在向更小的节点推进 , 芯片制造过程中的步骤增多 , 需要检测的频率也越来越高 , 加上晶圆厂大幅扩产 , 所以工艺检测设备需求量更大 。
工艺检测设备同样被国外厂商 , 美企、日企的几家企业占据了全球市场的70%左右 。

不过 , 近年来国产量检测设备厂商也开始突围 , 比如东方晶圆、上海精测、上海睿励等 。 其中 , 中微半导体投资的上海睿励在这方面做得很突出 , 近日又取得重要突破 。